Laser-imaging of laser-produced tin plume behavior for EUV light source

Daisuke Nakamura, Yuki Hashimoto, Koji Tamaru, Akihiko Takahashi, Tatsuo Okada

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

抄録

Debris, generated form a laser-produced Sn plasma extreme-ultraviolet source for the next generation optical lithography, was investigated by the laser-induced fluorescence (LIF) imaging for Sn atoms and a Faraday cup for ionic species. The sputtering by the fast ions from the plasma was also investigated by the LIF method.

本文言語英語
ホスト出版物のタイトルConference on Lasers and Electro-Optics/Pacific Rim, CLEOPR 2007
出版社Optical Society of America
ISBN(印刷版)1424411742, 9781424411740
出版ステータス出版済み - 1月 1 2007
イベントConference on Lasers and Electro-Optics/Pacific Rim, CLEOPR 2007 - Seoul, 韓国
継続期間: 8月 26 20078月 26 2007

出版物シリーズ

名前Optics InfoBase Conference Papers
ISSN(電子版)2162-2701

その他

その他Conference on Lasers and Electro-Optics/Pacific Rim, CLEOPR 2007
国/地域韓国
CitySeoul
Period8/26/078/26/07

!!!All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 器械工学
  • 原子分子物理学および光学

フィンガープリント

「Laser-imaging of laser-produced tin plume behavior for EUV light source」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル