Laser-induced damage of optical coatings grown with surface chemical reaction

Shin ichi Zaitsu, Shinji Motokoshi, Takahisa Jitsuno, Tatsuhiko Yamanaka

研究成果: ジャーナルへの寄稿会議記事査読

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抄録

We prepared optical thin films grown with surface chemical reactions using TiCl4 and H2O for TiO2, Al(CH3)3 and H2O2 for Al2O3 as reactants. The uniformity of thickness distribution was good over 240 mm in diameter. The film thickness could be precisely controlled only by the number of cycles. Two-layer TiO2Al2O3 anti-reflection coating with less than 0.2% reflection loss at 532 nm was fabricated. Laser-induced damage thresholds strongly depended on the growth temperature and the introduced gas pressure. They increased with decreasing the growth temperature and with increasing the introduced gas pressure.

本文言語英語
ページ(範囲)204-211
ページ数8
ジャーナルProceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
3492
I
DOI
出版ステータス出版済み - 1999
外部発表はい
イベントProceedings of the 1998 3rd International Conference on Solid State Lasers for Application to Inertial Confinement Fusion - Monterey, CA, USA
継続期間: 6月 7 19986月 12 1998

!!!All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 凝縮系物理学
  • コンピュータ サイエンスの応用
  • 応用数学
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Laser-induced damage of optical coatings grown with surface chemical reaction」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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