Low-temperature bonding of laser diode chips on Si substrates with oxygen and hydrogen atmospheric-pressure plasma activation

Ryo Takigawa, Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, Renshi Sawada

    研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

    7 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント 「Low-temperature bonding of laser diode chips on Si substrates with oxygen and hydrogen atmospheric-pressure plasma activation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science