Low-temperature bonding technologies realizing high-functional optical microsystems and sensors

Eiji Higurashi, Tadatomo Suga, Renshi Sawada

    研究成果: Contribution to journalArticle査読

    本文言語英語
    ページ(範囲)719-724
    ページ数6
    ジャーナルSeimitsu Kogaku Kaishi/Journal of the Japan Society for Precision Engineering
    79
    8
    DOI
    出版ステータス出版済み - 8 2013

    All Science Journal Classification (ASJC) codes

    • 機械工学

    引用スタイル