Low-Temperature Growth of Thin Silicon Nitride Film by Electron Cyclotron Resonance Plasma Irradiation

Liwei Zhao, Nam Hoai Luu, Dong Wang, Youhei Sugimoto, Ken Ichi Ikeda, Hideheru Nakashima, Hiroshi Nakashima

研究成果: Contribution to journalArticle査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Low-Temperature Growth of Thin Silicon Nitride Film by Electron Cyclotron Resonance Plasma Irradiation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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