Low-temperature, high-concentration laser doping of 4H-SiC for low contact resistance

T. Kikuchi, K. Imokawa, Akihiro Ikeda, D. Nakamura, T. Asano, H. Ikenoue

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

フィンガープリント

「Low-temperature, high-concentration laser doping of 4H-SiC for low contact resistance」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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