Low-Temperature Solid-Phase Crystallization of High-Sn Concentration SISn on Insulator

Kota Okamoto, Tomohiro Kosugi, Taizoh Sadoh

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

抄録

Solid-phase crystallization of high-Sn concentration SiSn films on insulator has been investigated at low-temperatures. It is found that crystallization velocities significantly increase with increasing thickness. The total Sn concentrations in grown films show uniform profiles, which are almost similar to those before annealing. The substitutional Sn concentrations in grown layers significantly exceed the thermal equilibrium solid-solubility of Sn in Ge. These results demonstrate that low-temperature solid-phase crystallization is very useful to realize non-thermal equilibrium states of SiSn films.

本文言語英語
ホスト出版物のタイトルProceedings of AM-FPD 2021 - 28th International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices
ホスト出版物のサブタイトルTFT Technologies and FPD Materials
出版社Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
ページ116-117
ページ数2
ISBN(電子版)9784991216909
出版ステータス出版済み - 2021
イベント28th International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices: TFT Technologies and FPD Materials, AM-FPD 2021 - Virtual, Online, 日本
継続期間: 6月 29 20217月 2 2021

出版物シリーズ

名前Proceedings of AM-FPD 2021 - 28th International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices: TFT Technologies and FPD Materials

会議

会議28th International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices: TFT Technologies and FPD Materials, AM-FPD 2021
国/地域日本
CityVirtual, Online
Period6/29/217/2/21

!!!All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • コンピュータ グラフィックスおよびコンピュータ支援設計
  • メディア記述
  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 器械工学

フィンガープリント

「Low-Temperature Solid-Phase Crystallization of High-Sn Concentration SISn on Insulator」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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