Low temperature synthesis of silicon quantum dots with plasma chemistry control in dual frequency non-thermal plasmas

Bibhuti Bhusan Sahu, Yongyi Yin, Jeon Geon Han, Masaharu Shiratani

研究成果: Contribution to journalArticle査読

14 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Low temperature synthesis of silicon quantum dots with plasma chemistry control in dual frequency non-thermal plasmas」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy

Chemical Compounds