Low thermal budget n-type doping into Ge(001) surface using ultraviolet laser irradiation in phosphoric acid solution

Kouta Takahashi, Masashi Kurosawa, Hiroshi Ikenoue, Mitsuo Sakashita, Wakana Takeuchi, Osamu Nakatsuka, Shigeaki Zaima

研究成果: ジャーナルへの寄稿 › 学術誌 › 査読

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フィンガープリント

「Low thermal budget n-type doping into Ge(001) surface using ultraviolet laser irradiation in phosphoric acid solution」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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