Measurement of strain in freestanding Si/SixNy membrane by convergent beam electron diffraction and finite element method

Hongye Gao, Ken Ichi Ikeda, Satoshi Hata, Hideharu Nakashima, Dong Wang, Hiroshi Nakashima

研究成果: Contribution to journalArticle査読

フィンガープリント

「Measurement of strain in freestanding Si/Si<sub>x</sub>N<sub>y</sub> membrane by convergent beam electron diffraction and finite element method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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