Measurements of the cathode sheath in a magnetron sputtering discharge using laser induced fluorescence

M. D. Bowden, T. Nakamura, K. Muraoka, Y. Yamagata, B. W. James, M. Maeda

研究成果: Contribution to journalArticle査読

20 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Measurements of the cathode sheath in a magnetron sputtering discharge using laser induced fluorescence」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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