Mechanisms of heat and oxygen transfer in silicon melt in an electromagnetic Czochralski system

Koichi Kakimoto, Akimasa Tashiro, Takashige Shinozaki, Hideo Ishii, Yoshio Hashimoto

研究成果: Contribution to journalArticle査読

20 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Mechanisms of heat and oxygen transfer in silicon melt in an electromagnetic Czochralski system」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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