Metal-Induced Solid-Phase Crystallization of Amorphous SiGe Films on Insulator

Hiroshi Kanno, Isao Tsunoda, Atsushi Kenjo, Taizoh Sadoh, Shinya Yamaguchi, Masanobu Miyao

研究成果: Contribution to journalArticle査読

寄稿の翻訳タイトルMetal-Induced Solid-Phase Crystallization of Amorphous SiGe Films on Insulator
本文言語未定義
ページ(範囲)1933-1936
ページ数4
ジャーナルJapanese Journal of Applied Physics, Part 2: Letters
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出版ステータス出版済み - 4 30 2003

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