Micromachining of polydimethylsiloxane using EUV light

Shintaron Fukami, Shuichi Torii, Tetsuya Makimura, Kota Okazaki, Daisuke Nakamura, Akihiko Takahashi, Tatsuo Okada, Hiroyuki Niino, Koichi Murakami

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

抄録

We studied the method to fabricate microstructures in PDMS sheet using laser-generated EUV light. In the high power density EUV light irradiation region, PDMS can be machined without chemical modification.

本文言語英語
ホスト出版物のタイトル2013 Conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim, CLEO-PR 2013
DOI
出版ステータス出版済み - 10 18 2013
イベント10th Conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim, CLEO-PR 2013 - Kyoto, 日本
継続期間: 6 30 20137 4 2013

出版物シリーズ

名前Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO - Technical Digest

その他

その他10th Conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim, CLEO-PR 2013
国/地域日本
CityKyoto
Period6/30/137/4/13

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 原子分子物理学および光学
  • 凝縮系物理学
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Micromachining of polydimethylsiloxane using EUV light」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル