Micromachining of polydimethylsiloxane using EUV light

Shintaron Fukami, Shuichi Torii, Tetsuya Makimura, Kota Okazaki, Daisuke Nakamura, Akihiko Takahashi, Tatsuo Okada, Hiroyuki Niino, Koichi Murakami

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

フィンガープリント 「Micromachining of polydimethylsiloxane using EUV light」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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