Microphotoluminescence evaluation of local strain for freestanding Si membranes with SiN deposition

Dong Wang, Hiroshi Nakashima, Jun Morioka, Tokuhide Kitamura

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

12 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Microphotoluminescence evaluation of local strain for freestanding Si membranes with SiN deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy