Microstructure and strain distribution in freestanding Si membrane strained by SixNy deposition

Hongye Gao, Ken Ichi Ikeda, Satoshi Hata, Hideharu Nakashima, Dong Wang, Hiroshi Nakashima

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Microstructure and strain distribution in freestanding Si membrane strained by SixNy deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds