Mode selective probing method of micro trench structure using optically trapped probe

Yasuhiro Takaya, Masaki Michihata, Terutake Hayashi, Taisuke Washitani

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

抄録

Probing techniques using the optically trapped probe with selective mode such as circular motion mode and SWS sensing mode are presented. The feasibility of both probing modes is confirmed by dimensional measurements of micro trench structure which is performed using the originally developed measurement system based on a CMM.

本文言語英語
ホスト出版物のタイトル2012 International Symposium on Optomechatronic Technologies, ISOT 2012
DOI
出版ステータス出版済み - 12月 1 2012
外部発表はい
イベント2012 International Symposium on Optomechatronic Technologies, ISOT 2012 - Paris, フランス
継続期間: 10月 29 201210月 31 2012

出版物シリーズ

名前2012 International Symposium on Optomechatronic Technologies, ISOT 2012

その他

その他2012 International Symposium on Optomechatronic Technologies, ISOT 2012
国/地域フランス
CityParis
Period10/29/1210/31/12

!!!All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 電子工学および電気工学
  • 機械工学

フィンガープリント

「Mode selective probing method of micro trench structure using optically trapped probe」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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