n- and p-type doping of 4H-SiC by wet-chemical laser processing

Koji Nishi, Akihiro Ikeda, Hiroshi Ikenoue, Tanemasa Asano

研究成果: Contribution to journalArticle

元の言語英語
ページ(範囲)645-648
ジャーナルMaterials Science Forum
778-780
出版物ステータス出版済み - 2 2014

これを引用