N- and p-type doping of 4H-SiC by wet-chemical laser processing

K. Nishi, A. Ikeda, D. Marui, H. Ikenoue, T. Asano

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

7 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「N- and p-type doping of 4H-SiC by wet-chemical laser processing」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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