Nanometer-scale surface analysis by laser-ablation fluorescence spectroscopy

Yuji Oki, Mitsuo Maeda, Akira Hirano

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抄録

This report demonstrates a very low absolute direction limit in Na atoms less than 1 fg with the LAA F spectroscopy. Applying this technique, a solid target of a strong LAA F signal for the ablation of 9 nm thickness is attained. It can be expected that the measurement of the density distribution of a specified element with a spatial resolution is less than 1 μm.

本文言語英語
ページ(範囲)330
ページ数1
ジャーナルUnknown Journal
出版ステータス出版済み - 1996

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 制御およびシステム工学
  • 電子工学および電気工学
  • 産業および生産工学

フィンガープリント

「Nanometer-scale surface analysis by laser-ablation fluorescence spectroscopy」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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