Nitrogen doping of 4H-SiC by KrF excimer laser irradiation in liquid nitrogen

Akihiro Ikeda, Daichi Marui, Hiroshi Ikenoue, Tanemasa Asano

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

10 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Nitrogen doping of 4H-SiC by KrF excimer laser irradiation in liquid nitrogen」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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