Novel CMP technique for copper surface finishing with fullerene nano-particle

Hiroki Tanada, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Keisuke Suzuki

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

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本文言語英語
ホスト出版物のタイトルProceedings of the 21st Annual ASPE Meeting, ASPE 2006
出版ステータス出版済み - 2006
外部発表はい
イベント21st Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering, ASPE 2006 - Monterey, CA, 米国
継続期間: 10 15 200610 20 2006

出版物シリーズ

名前Proceedings of the 21st Annual ASPE Meeting, ASPE 2006

その他

その他21st Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering, ASPE 2006
Country米国
CityMonterey, CA
Period10/15/0610/20/06

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • Mechanical Engineering

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