Novel CMP technique for copper surface finishing with fullerene nano-particle

Hiroki Tanada, Takashi Miyoshi, Yasuhiro Takaya, Terutake Hayashi, Keisuke Suzuki

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Novel CMP technique for copper surface finishing with fullerene nano-particle」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。