Nucleation and growth kinetics of AIN films on atomically smooth 6H-SiC (0001) surfaces

Satoshi Yamada, Jun Ichi Kato, Satoru Tanaka, Ikuo Suemune, Adrian Avramescu, Yoshinobu Aoyagi, Nobuaki Teraguchi, Akira Suzuki

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

51 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Nucleation and growth kinetics of AIN films on atomically smooth 6H-SiC (0001) surfaces」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy