Numerical analysis of growth condition on SiC-CVD in the horizontal hot-wall reactor

Shin Ichi Nishizawa, Michel Pons

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

10 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Numerical analysis of growth condition on SiC-CVD in the horizontal hot-wall reactor」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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