Optical metrology of patterned magnetic structures: Deep versus shallow gratings

Roman Antos, Martin Veis, Eva Liskova, Mitsuru Aoyama, Jaroslav Hamrle, Takashi Kimura, Pavol Gustafik, Masahiro Horie, Jan Mistrik, Tomuo Yamaguchi, Stefan Visnovsky, Naomichi Okamoto

研究成果: Contribution to journalConference article査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Optical metrology of patterned magnetic structures: Deep versus shallow gratings」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy

Chemical Compounds

Medicine & Life Sciences