Optical microsensors integrated on a silicon chip

Eiji Higurashi, Renshi Sawada

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

抄録

The hybrid integration of various optical microcomponents, such as laser diodes, photodiodes, and gratings, on a silicon micromachined substrate by passive optical alignment (optical surface mount technology) has opened up many new possibilities in constructing highly functional, reliable, and low-cost optical microsensors. Using this technology, various microsensors, including a high-resolution encoder that can measure the displacement or revolution angle and a blood flow sensor that can monitor blood flow in human skin, have been developed.

本文言語英語
ホスト出版物のタイトルProceedings of IEEE Sensors
ページ665-666
ページ数2
2
1
出版ステータス出版済み - 2003
外部発表はい
イベントSecond International Conference on Sensors: IEEE Sensors 2003 - Toronto, Ont., カナダ
継続期間: 10 22 200310 24 2003

その他

その他Second International Conference on Sensors: IEEE Sensors 2003
国/地域カナダ
CityToronto, Ont.
Period10/22/0310/24/03

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 工学(その他)
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Optical microsensors integrated on a silicon chip」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル