Partly three-dimensional global modeling of a silicon Czochralski furnace. I. Principles, formulation and implementation of the model

Lijun Liu, Koichi Kakimoto

研究成果: Contribution to journalArticle査読

110 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Partly three-dimensional global modeling of a silicon Czochralski furnace. I. Principles, formulation and implementation of the model」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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