Phosphorus doping of 4H SiC by liquid immersion excimer laser irradiation

Akihiro Ikeda, Koji Nishi, Hiroshi Ikenoue, Tanemasa Asano

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

22 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Phosphorus doping of 4H SiC by liquid immersion excimer laser irradiation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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