Polishing mechanism of glass substrates with its processing characteristics by cerium oxide and manganese oxide slurries

T. Yamazaki, T. K. Doi, Syuhei Kurokawa, S. Isayama, Y. Umezaki, Y. Matsukawa, H. Kono, Y. Akagami, Y. Yamaguchi, Y. Kawase

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

3 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Polishing mechanism of glass substrates with its processing characteristics by cerium oxide and manganese oxide slurries」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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