Preparation of PZT/YBCO/YAlO heterostructure thin films by KrF excimer laser ablation

Kenji Ebihara, Hiromitsu Kurogi, Yukihiko Yamagata, Tomoaki Ikegami, Alexander M. Grishin

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抄録

The perovskite oxide YBa2Cu3O7-X (YBCO) and Pb(ZrXTi1-X)O3 (PZT) thin films have been deposited for superconducting-ferroelectric devices. KrF excimer laser ablation technique was used at the deposition conditions of 200-600 m Torr O2, 2-3 J/cm2 and 5-10 Hz operation frequency. Heterostructures of PZT-YBCO-YAlO3:Nd show the zero resistivity critical temperature of 82 K and excellent ferroelectric properties of remnant polarization 32 μC/cm2, coercive force of 80 kV/cm and dielectric constant 800. Cycling fatigue characteristics and leakage current are also discussed.

本文言語英語
ページ(範囲)193-198
ページ数6
ジャーナルMaterials Research Society Symposium - Proceedings
526
出版ステータス出版済み - 12 1 1998
外部発表はい
イベントProceedings of the 1998 MRS Spring Meeting - San Francisco, CA, USA
継続期間: 4 13 19984 16 1998

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 材料科学(全般)
  • 凝縮系物理学
  • 材料力学
  • 機械工学

フィンガープリント

「Preparation of PZT/YBCO/YAlO heterostructure thin films by KrF excimer laser ablation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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