Preparation of silicon carbide nano-particles using a pulsed laser deposition method

H. Kawasaki, Y. Suda, T. Ohshima, T. Ueda, S. Nakashima

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抄録

We have developed a new pulsed laser deposition technique using two Nd:YAG laser beams for the nucleation of silicon carbide (SiC) crystalline nano-particles and single crystalline SiC thin films. Transmission electron microscopy and atomic force microscopy observation suggest that several nanometer size SiC particles can be prepared by the new pulsed laser deposition (PLD) method using two Nd:YAG laser beams (1064nm and 532nm). X ray photoelectron spectroscopy measurements suggest that the silicon/carbon composition ratio of the prepared SiC thin films can be controlled by laser fluence and wavelength.

本文言語英語
ページ(範囲)241-246
ページ数6
ジャーナルMaterials Research Society Symposium Proceedings
818
DOI
出版ステータス出版済み - 2004
外部発表はい
イベントNanoparticles and Nanowire Building Blocks - Synthesis, Processing, Characterization and Theory - San Francisco, CA, 米国
継続期間: 4月 13 20044月 16 2004

!!!All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 材料科学(全般)
  • 凝縮系物理学
  • 材料力学
  • 機械工学

フィンガープリント

「Preparation of silicon carbide nano-particles using a pulsed laser deposition method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

引用スタイル