Processing characteristics of SiC wafer by consideration of oxidation effect in different atmospheric environment

Ji Zhang, Syuhei Kurokawa, Terutake Hayashi, Eiji Asakawa, Chengwu Wang

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Processing characteristics of SiC wafer by consideration of oxidation effect in different atmospheric environment」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science