Production of electron cyclotron resonance plasma for uniform deposition using a TE01 mode microwave

Ryota Hidaka, Toru Yamaguchi, Akihisa Tsuruta, Masayoshi Tanaka, Yoshinobu Kawai

    研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

    3 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「Production of electron cyclotron resonance plasma for uniform deposition using a TE01 mode microwave」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science

    Physics & Astronomy