Rapid transport of nano-particles in amplitude modulated rf discharges for depositing porous ultra-low-k films

Shinya Iwashita, Michihito Morita, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

研究成果: Contribution to journalArticle査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Rapid transport of nano-particles in amplitude modulated rf discharges for depositing porous ultra-low-k films」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy