Reduction of dislocation density of aluminium nitride buffer layer grown on sapphire substrate

K. Jesbains, N. Kuwano, K. R. Jamaludin, H. Miyake, K. Hiramatsu, S. Suzuki, M. Mitsuhara, S. Hata, Y. Soejima

研究成果: Contribution to journalArticle査読

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フィンガープリント

「Reduction of dislocation density of aluminium nitride buffer layer grown on sapphire substrate」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Engineering & Materials Science