Reduction of the defect density in GaN films using ultra-thin AlN buffer layers on 6H-SiC

Satoru Tanaka, Sohachi Iwai, Yoshinobu Aoyagi

研究成果: Contribution to journalArticle査読

35 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Reduction of the defect density in GaN films using ultra-thin AlN buffer layers on 6H-SiC」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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