Rigidity enhancement of GeO2 by y doping for reliable Ge gate stacks

Tomonori Nishimura, Xiaoyu Tang, Takeaki Yajima, Akira Toriumi

研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingConference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Rigidity enhancement of GeO<sub>2</sub> by y doping for reliable Ge gate stacks」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds