Room-temperature gold-gold bonding method based on argon and hydrogen gas mixture atmospheric-pressure plasma treatment for optoelectronic device integration

Eiji Higurashi, Michitaka Yamamoto, Takeshi Sato, Tadatomo Suga, Renshi Sawada

    研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

    18 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「Room-temperature gold-gold bonding method based on argon and hydrogen gas mixture atmospheric-pressure plasma treatment for optoelectronic device integration」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science

    Chemical Compounds