SiC/Si-dots multilayer structures formed by supersonic free jets of CH 3SiH3 and Si3H8

Yoshifumi Ikoma, Ryota Ohtani, Nobuaki Matsui, Teruaki Motooka

研究成果: Contribution to journalArticle

6 引用 (Scopus)

フィンガープリント SiC/Si-dots multilayer structures formed by supersonic free jets of CH <sub>3</sub>SiH<sub>3</sub> and Si<sub>3</sub>H<sub>8</sub>' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。

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