SiC/Si-dots multilayer structures formed by supersonic free jets of CH 3SiH3 and Si3H8

Yoshifumi Ikoma, Ryota Ohtani, Nobuaki Matsui, Teruaki Motooka

    研究成果: Contribution to journalArticle査読

    6 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「SiC/Si-dots multilayer structures formed by supersonic free jets of CH <sub>3</sub>SiH<sub>3</sub> and Si<sub>3</sub>H<sub>8</sub>」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Physics & Astronomy

    Engineering & Materials Science