Smart-Cut Processes for Nanopore Device Formation on SIMOX(100)

Yoshifumi Ikoma, Teruaki Motooka, Shinji Munetoh, Hirofumi Sakita, Hafizal Yahaya, H Naramoto, K Narumi, S Sakai, Y Maeda

    研究成果: 研究成果報告書

    本文言語英語
    出版社Japan Atomic Energy Agency
    ページ126
    ページ数1
    229-041
    出版ステータス出版済み - 12月 2009

    引用スタイル