Smart-Cut Processes for Nanopore Device Formation on SIMOX(100)

Yoshifumi Ikoma, Teruaki Motooka, Shinji Munetoh, Hirofumi Sakita, Hafizal Yahaya, H Naramoto, K Narumi, S Sakai, Y Maeda

    研究成果: Chapter in Book/Report/Conference proceedingForeword/postscript

    本文言語英語
    ホスト出版物のタイトルJAEA-Review: JAEA Takasaki Annual Report 2008
    出版社Japan Atomic Energy Agency
    ページ126
    ページ数1
    229-041
    出版ステータス出版済み - 12 2009

    引用スタイル