Spatio-temporal measurements Ar 2p1 excitation rates and optical emission spectroscopy by capacitively coupled Ar and Ne mixed gas plasma

Michihiro Otaka, Toshiaki Arima, Jiansyun Lai, Kizuki Ikeda, Kunihiro Kamataki, Naoto Yamashita, Takamasa Okumura, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani

研究成果: ジャーナルへの寄稿学術誌査読

フィンガープリント

「Spatio-temporal measurements Ar 2p1 excitation rates and optical emission spectroscopy by capacitively coupled Ar and Ne mixed gas plasma」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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