Stable crystallization of a-Si film on a flexible substrate

T. Ashitomi, T. Harada, K. Nakao, C. J. Koswaththage, T. Okada, T. Noguchi, N. Kawamoto, Hiroshi Ikenoue, T. Okuyama, A. Suwa, K. Noda

研究成果: 書籍/レポート タイプへの寄稿会議への寄与

抄録

The ELA using high repetition pulse for a-Si film on flexible sheet is perfonned. As a result of multi-shots ELA, the crystal structure of Si film on oxide buffer layer was stably obtained in lower pulse energy density. High performance TFT on flexible sheet is expected.

本文言語英語
ホスト出版物のタイトル22nd International Display Workshops, IDW 2015
出版社International Display Workshops
ページ1773-1774
ページ数2
ISBN(電子版)9781510845503
出版ステータス出版済み - 1月 1 2015
イベント22nd International Display Workshops, IDW 2015 - Otsu, 日本
継続期間: 12月 9 201512月 11 2015

出版物シリーズ

名前Proceedings of the International Display Workshops
3
ISSN(印刷版)1883-2490

その他

その他22nd International Display Workshops, IDW 2015
国/地域日本
CityOtsu
Period12/9/1512/11/15

!!!All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • コンピュータ ビジョンおよびパターン認識
  • 人間とコンピュータの相互作用
  • 電子工学および電気工学
  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 放射線学、核医学およびイメージング

フィンガープリント

「Stable crystallization of a-Si film on a flexible substrate」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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