Strain distribution in freestanding Si/SixNy membranes studied by transmission electron microscopy

Hongye Gao, Ken Ichi Ikeda, Satoshi Hata, Hideharu Nakashima, Dong Wang, Hiroshi Nakashima

研究成果: Contribution to journalArticle査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Strain distribution in freestanding Si/Si<sub>x</sub>N<sub>y</sub> membranes studied by transmission electron microscopy」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Engineering & Materials Science

Chemical Compounds