本文言語 | 英語 |
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ページ | 140 |
ページ数 | 1 |
巻 | 2008-055 |
出版ステータス | 出版済み - 11月 2008 |
Structural Change in Si Induced by Ion Bombardments and Its Application for Nano-Fabrication (II)
Teruaki Motooka, Yoshifumi Ikoma, Shinji Munetoh, Lei Yang, H Naramoto, K Narumi, S Sakai, Y. Maeda
研究成果: 研究成果報告書