本文言語 | 英語 |
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ページ | 169 |
巻 | 2007-060 |
出版ステータス | 出版済み - 3月 2008 |
Structural Change in Si Induced by Ion Bombardments and Its Application for Nano-Fabrication
Yoshifumi Ikoma, Teruaki Motooka, Shinji Munetoh, X. Q. Cheng, H Naramoto, K Narumi, S Sakai, Y. Maeda
研究成果: 研究成果報告書