Structural Change in Si Induced by Ion Bombardments and Its Application for Nano-Fabrication

Yoshifumi Ikoma, Teruaki Motooka, Shinji Munetoh, X. Q. Cheng, H Naramoto, K Narumi, S Sakai, Y. Maeda

    研究成果: 研究成果報告書

    本文言語英語
    ページ169
    2007-060
    出版ステータス出版済み - 3月 2008

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