Structural properties of nickel metal-induced laterally crystallized silicon films and their improvement using excimer laser annealing

Mitsutoshi Miyasaka, Tatsuya Shimoda, Kenji Makihira, Tanemasa Asano, Béla Pecz, John Stoemenos

研究成果: Contribution to journalArticle査読

16 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Structural properties of nickel metal-induced laterally crystallized silicon films and their improvement using excimer laser annealing」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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