Study on Growth Processes of Subnanometer Particles in Early Phase of Silane RF Discharge

Tsuyoshi Fukuzawa, Hiroharu Kawasaki, Masaharu Shiratani, Yukio Watanabe

研究成果: Contribution to journalArticle査読

15 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Study on Growth Processes of Subnanometer Particles in Early Phase of Silane RF Discharge」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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